クリーンルームA

清浄度：ISOクラス７（C-10000）
温度：２３±２℃
湿度：RH５０±１０%

クリーンルームB

清浄度：ISOクラス７（C-10000）
温度：２３±２℃

小型熱真空チャンバー

供試体の最大サイズ：400 mm×400 mm×400 mm
温度制御範囲：-80～+80℃（-80℃での排熱能力100 W以上）
到達真空度：1.0×10^-7 Torr以上
電気信号チャンネル数：100 ch（Dsub25ピンコネクタ×４）
供試体観察窓：あり